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圧電応答測定(PFM:Piezoelectric Force Microscopy)
パーク・システムズ原子間力顕微鏡(AFM)の電気特性アプリケーションの1つであるEFMシリーズには、EFM(静電気力 )、KPFM(表面電位)、PFM(圧電応答)がありますが、今回はPFMについてお話します。
コンデンサー、アクチュエーター、不揮発性メモリなどに使われる圧電材料は、デバイスとして薄膜化 、微細化がますます進んでいます。PFMは、この微小領域の残留分極の分布を可視化することができ、 分光法によって分極の大きさと方向を1度にみることができます。また、探針と接触する表面に垂直な 成分だけでなく、面内の異なる方向に沿った成分を含む複雑なドメインの方向についても1つの垂直チ ャネルと2つの水平チャネルのベクトルを使って、より正確な情報を提供することができます。
EFMは、形状測定の方法によってEFMモードとDynamic Contact EFMモードに大別され、EFMとKPFM がEFMモード、PFMはDynamic Contact EFMモードがベースになっています。
EFMは、形状測定の方法によってEFMモードとDynamic Contact EFMモードに大別され、EFMとKPFM がEFMモード、PFMはDynamic Contact EFMモードがベースになっています。
セミナー情報
主催者情報 | パーク・システムズ・ジャパン |
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カテゴリー | 講演会 |
参加費用 | 無料 |
定員 | 100名 |
参加対象 | 物性測定や特性評価を行う方、AFMにご興味のある方、電気特性の測定について知りたい方、その他ご興味のある方 |
参加条件 | |
申込期限 | 2021年8月26日 |
日時 | 2021年8月27日16:00〜16:50 |
開場時間 | 15:50 |
会場 | オンライン |
会場住所 | 東京都ウェビナー |
備考 |